作者：邵秀梅; 李淘; 李雪; 邓洪海; 程吉凤; 徐...ingaas探测器平面型盲元
摘要：采用晶格匹配的平面型InP／In瞄。Ga叫，As／InP外延材料，设计了一种大光敏元、带有保护环的InGaAs线列探测器。通过I—V9n,4试、扫描电容显微技术（SCM）测试，研究并确定了线列器件的盲元与保护环结构之间的关系。通过设计改进，解决了器件的盲元问题。24×1InGaAs线列短波红外探测在室温20℃、-10mV偏压下，暗电流密度约5nA／cm2。将光敏芯片密封在集成了热电制冷器（TEC）的金属管壳内，组件工作温度5℃，探测器响应光谱在1．0肚m～1．67肚m范围，平均峰值电流响应率为1．3A／W，平均峰值探测率为3．4×10他cm·Hz1/2／W，响应的非均匀性为1．5％。探测器经历一定条件的可靠性筛选试验后，性能未发生明显变化，并进行了航空机载成像应用，成像图片清晰。
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