作者：白云波; 周游; 刘世杰; 邵建达; 徐隆波测量光学均匀性拼接检测激光玻璃
摘要：提出了基于600mm口径干涉仪的一维子孔径拼接测量方法,通过像素错位误差模拟分析结果,设计并研制了一维大行程气浮型精密扫描拼接平台,实现了对角线接近1m的大口径激光玻璃的全口径光学均匀性拼接检测,并对该技术的拼接测量精度和重复性进行了验证。结果表明：拼接结果平滑,均匀性拼接测量与直接测量结果的相对误差优于2×10^-7,全口径均匀性的重复性优于4×10^-8,单口径均匀性测量结果与拼接后相同区域的均匀性结果最大差异为2×10^-7。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
