作者：董宁宁; 王帆; 崔锦江; 徐建根探测器极紫外单色仪定标多层膜反射镜准确度重复性
摘要：提出了一种极紫外（EUV）单色仪定标新方法。对Mcpherson247型EuV单色仪进行波长定标，通过测量标准气体He空阴极光源的两条发射光谱30．38nm和58．43nm和标定过的中心波长为13．90nm的Mo／Si多层膜反射镜的反射率峰值位置，在单色仪的运动轨迹上将所定的标准点作相应的标识，并用Origin软件进行处理。分析标定结果，得出了在12～60nm波段内，用激光等离子体光源软X射线反射率计测量多层膜反射镜反射峰值位置时，测量准确度为0．09nm，测量重复性为±0．04nm。测量误差主要来源是光源的不稳定性和机械转动误差。
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