作者：陈哲; 董连和; 孙艳军; 冷雁冰薄膜太阳能电池cds晶体电子束蒸发法光电性能
摘要：以CdS、CdCl2混合物为薄膜材料运用电子束蒸发法，制备了不同比例的CdS掺Cl-薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、四探针测试仪和紫外可见光光谱仪，对所制备薄膜的结构、光学及光电导性能进行了测试。结果表明：采用此方法制备的CdS薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜，且具有垂直于基底C轴的（002）晶面优势取向。Cl-掺杂摩尔分数为0．1％时可提高薄膜的结晶性且掺杂浓度变化对光能隙的影响很小，仅变化0．07eV；其中亮方块电阻最小值为100Ω／[]，光敏性达到了2．9×10^5。说明经过C1-的掺杂处理可以明显改善CdS薄膜结晶质量和光学及光电导性能。
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