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镜面对称法绝对测量中的误差补偿方法

作者:何宇航; 柴立群; 陈波; 李强; 魏小红; 高...测量误差补偿zernike多项式镜面对称绝对测量测量精度

摘要:提出了一种对镜面对称法绝对测量中的原理性误差进行补偿的方法。镜面对称法绝对测量中,需要旋转其中一块平板,由于旋转次数的有限性,重构的三板波前均存在缺失cNθ项的原理性误差。通过增加一次不同角度的旋转,根据Zernike多项式在极坐标系中形式的旋转不变性,对旋转前后的波前差值求解多项式系数方程,获得了cNθ项的多项式系数,进而对原理性误差进行了补偿。由于cNθ项包含无穷多项,根据精度的需要和计算开销决定补偿的项数。模拟实验证明了该补偿方法的有效性。

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光学学报

《光学学报》(半月刊)创刊于1981年,由中国科学技术协会主管,中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所主办,CN刊号为:31-1252/O4,自创刊以来,颇受业界和广大读者的关注和好评。 《光学学报》主要刊登以光学科研为主体(交叉学科须侧重光学领域),有广阔研究前景、具有国内外领先水平或独创意义的学术论文,有一定独立见解的理论论述,有可靠数据的实验报道,有科学依据的技术应用,阶段性科研成果的实验快报。

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