作者：周媛媛; 周泗忠; 邓颖光学器件极紫外平行光管聚焦毛细管光束发散角孔径角
摘要：采用聚焦毛细管将通用的极紫外光源引出法兰口之外,并控制光束发散角,以匹配平行光管孔径角。分析计算了直接用光源照亮靶盘的情形,光束不能充满有效主镜面上的直径;设计使用聚焦毛细管,使光束充满平行光管孔径角,并对极紫外平行光管有无毛细管两种状态进行测试。测试结果表明,采用聚焦毛细管后,扩大了光束的发散角,并且无毛细管的最大光子计数接近1×10^5个,加毛细管后最大光子计数能达到1×10^4个。测试数据说明极紫外聚焦毛细管的传输效率可以达到10%,能够满足极紫外平行光管的各项技术指标要求。
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