作者：燕斌; 苑伟政; 乔大勇; 刘耀波; 吴蒙; 李...光学器件微光学器件扫描镜绝缘体上硅谐振频率迟滞频率响应
摘要：在微光机电系统（MOEMS）技术的基础上,采用绝缘体上硅（SOI）的体硅加工工艺,设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统（MEMS）扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构设计特点;理论计算了圆形和方形两种结构的尺寸扫描镜的谐振频率,并利用ANSYS有限元软件进行仿真;设计并搭建了一个简单易操作的光学测试系统,对研制出的MEMS扫描镜（7.1mm×5.2mm）进行扫描角度测试。利用该器件参数激励的迟滞频率特性,对其谐振频率进行实际测量。同时,为验证其所测谐振频率的准确性,利用激光多普勒测振（LDV）系统对其进行测试。在工作电压10V,方形和圆形扫描镜的驱动频率分别为556Hz和596Hz时,机械扫描角度分别可达到约6°和5°,谐振频率分别约为300Hz和277Hz。并分析误差产生的原因及其结果。
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