作者：陈璐; 徐文东; 朱青光数据存储光磁混合存储聚焦伺服模块逆系统非线性滞回
摘要：介绍了光磁混合存储动态测试系统中聚焦伺服模块的设计和实现。伺服模块采用了双光束的方案, 用独立的红光抽运（LD）作为伺服光源, 构成独立的动态聚焦伺服单元, 使伺服单元具有模块化、可移植的特点。它不仅适用于混合存储动态测试系统, 还可用于卧式或立式、静态或动态的远场激光记录系统中。本文研究了聚焦模块中执行器压电陶瓷（PZT）的幅相频特性和非线性滞回效应, 在控制算法方面, 使用了PI算法闭环控制结合逆系统和逆非线性滞回模型进行校正, 实现了高精度的动态聚焦伺服, 在盘片转速为8 r/s时聚焦偏差在±130 nm内。利用该测试系统对有机材料作了动态记录测试, 记录点大小和深度均匀一致。
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