作者:闫斌; 吴福全; 郝殿中; 张旭; 毕佳; 郑萌...薄膜光学延迟器消色差相移
摘要:根据全反射相变理论设计了菲涅耳菱体型相位延迟器延迟量对入射角变化不敏感的结构角。根据薄膜的偏振效应,从薄膜的特征矩阵出发,通过在菱体的两个全反射面蒸镀光学介质膜的方法拓宽了菲涅耳菱体型相位延迟的消色差宽度。在ML_EB900型镀膜机上适当控制沉积条件制备了消色差相位延迟膜,实验测试结果表明:在530-700 nm的波长范围内,可以获得90°的相位延迟量,且最大偏差小于0.7°。
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