作者：李成仁; 宋世德; 周松强; 宋昌烈; 于清旭...薄膜光学镱铒共掺al2o3薄膜激光退火表面形貌退火均匀性
摘要：讨论了激光退火工艺参量对镱铒共掺Al2O3薄膜表面形貌和退火均匀性的影响。薄膜样品被置放于衰减扩束透镜的3倍焦距位置时，薄膜上8mm半径区域内近似均匀退火；退火时间为32S时，表面形貌与退火前基本相同。阈值退火功率为5W，最佳退火功率为20W。对相同工艺制备的镱铒共掺Al2O3薄膜分别进行CO2激光退火和热退火处理，光致发光（PL）谱测量表明，前者峰值强度比后者强10倍以上，并且热退火光致发光强度随抽运功率增加出现饱和、下降，而激光退火近似随抽运功率单调线性增强。
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