作者:郝沛明; 付联效; 袁立银; 李韦韦成像系统补偿检验三级像差理论二次曲面
摘要:在光学加工中,反射镜可以很好地补偿待检镜,解决加工中的一些难题。通过三级像差理论求解反射镜补偿检验二次曲面的初始结构参量,令球差系数ΣS1=0,补偿镜e1^2可选择球面或椭球面,推导出补偿镜和待检镜之间关系的表示式。e1^2=0、0.1、0.2、0.3、0.4,按公式画出e2^2/a-β,ar02/r01~β的曲线图,从中确定β∝α,e1^2,e2^2,r01,r02,d12的对应关系,解出补偿检验的初始结构参量,分析补偿镜放置待检镜曲率中心前α〉0,α〉1和后α〈0、β≥0,β≤0对应待检镜的e2^2各种求解。分析看出:这包括了补偿检验的全部功能,对凸和凹的二次曲面都可以进行补偿检验,其中有以前提出的解,也有以前没有发现的解,对补偿检验的全面分析是非常有益的。
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