作者：宋军; 何赛灵矩量法波导光学平面波导点缺陷散射损耗格林函数法散射系数
摘要：对平面波导工艺过程里出现的点缺陷，如气泡、灰尘颗粒等对平面波导内光场造成的散射提供了一种简单而又实用的计算方法。计算基于格林函数方法，并利用矩量法求解积分方程，采用分块矩阵优化算法，使得算法的计算时间直接与点缺陷大小相关，提高了效率。证明了一定大小的点缺陷在特定的波长处会产生很大的散射损耗，证明点缺陷的散射损耗依赖于缺陷大小和光学性质而与其在波导中的位置无直接关系。以二氧化硅平面波导为例，分析了对中心波长1．55μm的入射光场，分别存在气泡和灰尘颗粒两种点缺陷时，散射损耗随点缺陷大小的关系特性，指出工艺过程特别应该避免某些孔径的点缺陷。
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