作者：娄丽芳; 盛钟延; 姚奎鸿; 肖丙刚; 何赛灵波导光学平面光波导等离子体增强化学气相沉积二氧化硅薄膜pecvd折射率棱镜耦合仪傅里叶变换红外光谱薄膜结构
摘要：以硅烷和氧化二氮作为反应气体，采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术，不使用掺杂，在单晶硅衬底上制备了用于平面光波导的二氧化硅薄膜。研究了薄膜折射率和淀积速率与工艺参量之间的关系，通过棱镜耦合仪、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜等测试手段，分析了薄膜的结构和光学特性。结果表明，实验能快速生长厚二氧化硅薄膜，薄膜表面平整，颗粒度均匀，同时薄膜具有折射率精确可控和红外透射性能好的特点，非常适合制作光波导器件。
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