准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究

作者：周月豪; 柳海鹏; 熊良才; 史铁林准分子激光电化学阳极钝化刻蚀镍

摘要：提出一种新的准分子激光电化学加工工艺,在阳极钝化区内,通过准分子激光照射,以实现无屏蔽的各向异性的微加工.对该工艺进行了可行性分析,并对其进行了初步试验,证实在钝化区,准分子激光导致刻蚀电流增加的幅度比较明显,在此基础上,深入研究了在准分子脉冲激光作用过程中,刻蚀电流与脉冲数、脉冲频率之间的关系.表明准分子激光在钝化区具有增强电化学特性的能力.

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