高精度大口径平面镜瑞奇-康芒定量检测方法研究

作者：田秀云; 吴时彬; 伍凡; 陈强; 吴永前定量检测影响函数

摘要：瑞奇-康芒法是检测大口径平面时的行之有效的方法。由于被检平面处于发散光路中，这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂，推导起来十分困难，故长期以来该方法只能作为一种定性或半定量的检测手段。给出了数学算法，推导出了被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系，实现了瑞奇-康芒的定量检测。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社