作者：王风丽; 张壮壮; 王占山; 周洪军; 霍同林真空紫外反射镜保护层光学常数菲涅尔公式热蒸发
摘要：由于A1膜的保护层MgF2薄膜的光学常数对Al/MgF2高反射镜的性能有极大的影响，本文研究了获取Al/MgF2薄膜光学常数的方法。用热舟蒸发的方法在室温B270基底上镀制了3块不同MgF2厚度的A1/MgF2反射镜样品，通过掠入射X射线小角反射方法表征样品，获得了膜层厚度和粗糙度。在国家同步辐射实验中心计量站测试了人射角为5°时，样品在105~130nm波段的反射率。在Al、MgF2膜层的厚度和A1的光学常数已知条件下，依据菲涅尔公式，得出了满足某波长处样品反射率的等值曲线，然后从三条曲线的交点得出了MgF2薄膜在108~128nm波段的光学常数。对比和分析显示：利用此方法得到的108~128mm波段MgF2薄膜光学常数计算的反射率曲线和实际测试得到的反射率曲线吻合较好。
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