作者：黄文浩; 朱兰芳; 陈宇航; 言峰; 周明; 王...纳米加工局域场增强pmma
摘要：介绍了一种基于原子力显微镜（AFM）的激光近场增强纳米加工方法。探讨了作为主要影响因素的激光场增强效应，用时域有限差分法对AFM探针下光场的空间分布进行了数值分析。研究了飞秒激光入射到AFM探针的PMMA材料的图形化，在PMMA材料表面加工了不同宽度的线条和字母。利用AFM对所得纳米图形进行了原位测试。在激光参数未经优化的情况下，其线宽可达100nm，超过了实验室飞秒激光远场加工的分辨能力（200nm）。
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