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单振子双腔体无阀压电泵结构设计与机理分析

作者:吴丽萍; 程光明; 曾平; 杨志刚; 吴银柱单振子双腔体无阀压电泵机理分析输出流量

摘要:提出了一种单振子双腔体无阀压电泵,应用小挠度弹性弯曲理论导出了圆形复合压电振子的弹性曲面微分方程,分析了采用一个压电振子形成两个工作腔体压电泵的结构和工作机理,并与单振子单腔体压电泵对比分析了该结构与输出流量的关系.设计研制了结构独特、输出性能更高的单振子双腔体无阀压电泵,通过试验表明:单振子双腔体无阀压电泵比单振子单腔体无阀压电泵输出流量有明显提高.

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光学精密工程

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