作者：梁静秋; 侯凤杰光纤阵列硅v型槽各向异性腐蚀端面检测
摘要：阐述了一维光纤阵列的研制方法，分析了V型槽法中硅V型槽腐蚀机理，计算了V型槽的开口及间距与光纤半径及纤芯截面圆心距的关系，给出了最小槽深与光纤半径及V型槽开口的关系式。用各向异性腐蚀技术制作了硅V型槽，比较了紫外及红外粘接剂的性能，进行了光纤的排列、粘接及抛光，制作出一维光纤阵列。用原子力显微镜测量光纤阵列表面粗糙度为纳米量级，用ZYGO数字干涉仪检测光纤的端头位置误差为3～5μm。该项工作为二维光纤阵列的高精度制备奠定了基础。
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