作者：宁永强面发射激光器腔内倍频半导体激光器垂直腔面发射文章专题激光器结构高反射镜外延生长表面方向光束质量单模工作应用潜力谐振腔体积小边发射发散角光通信波长器件
摘要：半导体激光器体积小、效率高，在信息、医疗、工业、军事等领域得到广泛应用。作为半导体激光器家族中的一员，垂直腔面发射激光器结构与普通边发射半导体激光器不同，其谐振腔是通过外延生长而成的两个高反射镜，激光沿垂直表面方向出射。垂直腔面发射激光器具有圆形对称光束、发散角小、光束质量好、阈值低、可二维集成等优点。由于谐振腔在波长量级，器件可以动态单模工作，在光通信领域有重要的应用潜力。
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