作者：薛玲玲; 陈波; 尼启良; 张华; 曹轲; 张玲极紫外激光等离子体单色仪微通道板
摘要：设计了17．1nm波段光电成像系统，用于对波长为17．1nm的极紫外光进行成像。该成像系统分为三大部分：光源、单色仪和探测系统。一个调Q的Nd：YAG激光器(Continuum 9000)用来产生激光等离子体，掠入射单色仪由2块球面聚焦镜和1块600L／mm的球面掠入射光栅组成，经单色仪分光后得到波长为17．1nm的单色光，探测器是微通道板(MCP)和荧光屏组件共同组成，Kodak400型胶卷被用于记录狭缝的像。结果获得了一宽度为3mm的狭缝的像，实验测得130μm的成像系统的空间分辨率，好于相同条件下文献[6]的结果。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
