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多层金属/介质膜系中Al层的作用分析

作者:魏军明; 吴永刚; 顾牡; 顾春时; 马晓辉; ...多层膜金属薄膜介质薄膜baf2闪烁晶体铝层

摘要:设计了一维金属/介质多层膜系,膜系由几个周期的高折射率(Al2O3)/低折射率(MgF2)材料所组成.在低折射率材料中插入金属层(Al),对膜系进行了优化,利用电子束蒸发方法制备了该膜系.实验表明,不仅Al层的总厚度直接影响透射谱的形状,在同样Al层总厚度情况下,Al层厚度分布对膜系也有影响.寻找到了最佳Al层分布结果,并通过了实验验证,制备出了能很好抑止BaF2晶体发射光谱的长波成分的膜系.

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光学精密工程

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