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晶圆级功率器件测试

作者:李华功率器件器件测试晶圆供电电压100w直流功率强迫风冷散热问题散热器芯片级

摘要:功率器件的测试难点在于散热,当前功率器件的供电电压不断下降,从1.2V向0.8v过渡,直流功率超过100W,相应电流从100A增加至200A。功率器件的测试通常很难在晶圆级进行,一般是在芯片级或封装级实施,测试台的供电和散热器的尺寸容易设置,加上可借助强迫风冷或循环水冷实现降温,使散热问题得以解决。

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国外电子测量技术

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