具有使用原子层沉积形成的集成计算元件的流体分析系统

原子层沉积流体分析integratedcomponentsserviceselementsystems

摘要：专利名称：FLUID ANALYSIS SYSTEM WITH INTEGRATED COMPUTATION ELEMENT FORMED USING ATOMIC LAYER DEPOSITION 专利号：US2015369043（A1） 申请号：US201314766960 申请日：2013.02.11 公开（公告）日：2015.12.24 申请（专利权）人：HALLIBURTON ENERGY SERVICES,INC. Fluid analysis systems with Integrated Computation Elements（ICEs）or other optical path components

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