浅谈半导体工厂的氢气供应

作者：叶晓明; 宋明理氢气半导体工厂纯度

摘要：氢气是半导体工厂必备的工艺气体,其纯度要求大于99.999%,因此对氢气的供应提出了更高的要求。本文详细介绍了从气站至工艺设备端的氢气供应方式,并从生产成本及优缺点分析了水电解装置及长管拖车两种供应方式上的差异。对于纯度控制,需要根据工艺设备的纯度要求,结合原料气的品质及纯化器的进出口指标制定合理的技术方案,并通过设置来料及产品的分析仪对纯度进行监控。

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