超净高纯化学试剂开发超大规模集成电路湿法工艺沉淀工艺有机溶剂产品性质电子产业
摘要：超净高纯化学试剂是超大规模集成电路（IC）制作不可少的关键性材料之一，主要用于芯片的清洗、刻蚀．以及掺杂和沉淀工艺等。超净高纯化学试剂纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能和可靠性的影响极大。超净高纯化学试剂品种多，按用途可主要分为光刻胶配套试剂、湿法工艺试剂及湿法蚀刻剂等。按产品性质可主要分为有机溶剂类、无机酸类、无机碱类及其他超净高纯化学试剂。超净高纯化学试剂的需求量大，且随着电子产业的快速发展，超净高纯化学试剂的需求量在不断增长，目前我国主要依靠进口．因此亟待加强开发生产，其前景很好。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
