作者:张文娟高纯气体金属粒子检测方法
摘要:概述了高纯电子气体中金属杂质的来源及测定高纯气体中金属粒子的前处理方法和检测手段。选定检测手段从最初的单一仪器检测逐渐过渡到仪器间的联合检测。选用合适的检测方法,满足痕量杂质(10^-9级)、复杂组分的分析要求。这样能更精准的检测出更多金属种类。不仅提供对半导体生产中沾污的测试手段,而且对高纯气体的生产、包装等具有非常重要的意义。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
《广州化工》(CN:44-1228/TQ)是一本有较高学术价值的大型半月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
部级期刊
人气 148678 评论 72
省级期刊
人气 147667 评论 73
北大期刊、CSCD期刊、统计源期刊
人气 89419 评论 68
人气 69832 评论 66