多晶硅生产技术发展方向探讨

作者：赵建; 詹水华; 王东京; 盛斌多晶硅改良西门子法硅烷法气液沉积法

摘要：讨论了国内外在多晶硅生产方面的主要技术---改良西门子法工艺，针对硅烷流化床法和气液沉积法做了技术性分析，为我国多晶硅在硅烷流化床法和气液沉积法方面的发展提供一些建议。开发和利用这些技术，对解决目前国内面临的多晶硅生产成本高居不下、质量不高的问题，提高我国多晶硅在国际上的竞争力具有重要意义。

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