作者：陆志成; 张雨茜; 张伟; 郭俊宏; 张雪花; ...亚波长光栅导模共振氧化铝可调谐滤波器
摘要：根据等效介质理论和严格耦合波理论，提出了可见光波段下基于氧化铝材料的亚波长导模共振光栅滤波器的理论设计与仿真方法。利用Rsoft软件分别仿真分析强调制和弱调制下的氧化铝光栅反射光谱，并探讨了光栅周期（400～420nm）、占空比（0.2～0.8）和光栅厚度（117～367nm）等结构参数的改变对光栅光谱特性的影响。仿真结果表明，氧化铝光栅在610nm波长处具有优秀的滤波效果:旁带＜3%，半高宽（FWHM）＜0.3nm，高反射率（接近100%）。最后采用快速原子束刻蚀技术制备出了可见光波段下的氧化铝材料导模共振滤波器。
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