作者：武威 万培元 侯立刚 林平分环形振荡器温度补偿工艺补偿
摘要：介绍了一种采用0．35μmCMOS工艺制作的具有温度补偿的时钟振荡器电路。从环形振荡器的基本原理出发，基于对CMOS工艺各种非理想性因素的分析，提出一种新型的工艺补偿电路，减小振荡器偏置电流随阈值电压的漂移；在延迟单元的设计中，引入NMOS交叉耦合对组成的交流负阻抗来进一步补偿PMOS迁移率随温度的变化，从而有效抑制输出频率随温度的变化。该振荡器电路用于MEMS加速度计读出电路芯片。样品电路测试结果表明，在一20～100℃温度范围内，时钟振荡器的频率仅变化38kHz。
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《固体电子学研究与进展》（CN：32-1110/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《固体电子学研究与进展》刊登的主要内容为：无机和有机固体物理、硅微电子、射频器件和微波集成电路、微机电系统（MEMS）、纳米技术、固体光电和电光转换、有机发光器件（OLED）和有机微电子技术、高温微电子以及各种固体电子器件等方面的创新性科学技术报告和学术论文，论文和研究报告反映国家固体电子学方面的科技水平。
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