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GaN HFET的综合设计

作者:薛舫时氮化镓异质结场效应管能带剪裁动态电流崩塌模型二维异质结构综合设计

摘要:从自洽求解薛定谔方程和泊松方程出发,研究了负极化电荷在强化沟道阱量子限制和能带剪裁中的作用。优化设计负极化电荷的位置后给出了新的复合势垒设计。提出了新的动态电流崩塌模型和二维异质结构概念,把原位sbN。钝化和复合势垒结合起来实现二维异质结构。用AlGaN/Al InN复合势垒解决了Al InNHFET中的欧姆接触电阻大和沟道不易夹断两大难题。通过能带剪裁和二维异质结构设计完成了包含钝化、场板电极、挖槽、薄势垒欧姆接触、GaN帽层和AlN插入层等方案优点的新综合设计。

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固体电子学研究与进展

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