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SiC衬底AlGaN/GaN HEMT的热分析与测试

作者:任春江; 陈堂胜; 焦刚; 李肖; 薛舫时; 李...氮化镓宽禁带热分析红外显微镜

摘要:对SiC衬底AlGaN/GaNHEMT的结温进行了理论计算与实测。计算中考虑了衬底材料热导率随温度的变化以及器件源、漏电阻上的热损耗,不同耗散功率下的理论计算与红外显微镜实测结果比较表明,两者相差最大不超过10℃。由于理论计算结果是在解析解的基础上运用计算机迭代计算获得,所耗时间较短,故这一结果对于改善器件结构以提高AlGaN/GaNHEMT及其MMIC电路的性能将有较大帮助。

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固体电子学研究与进展

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