作者：高孝裕; 周勇; 雷冲; 陈吉安; 倪智平; 毛...微电感电感量品质因子微机电系统
摘要：采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等.研制的微电感大小为1 500 μm×900 μm×100 μm,线圈匝数为41匝,宽度为20 μm,线圈之间的间隙为20 μm,高深宽比为5∶1.测试结果表明:在1～10 MHz频率下,其电感量为0.408～0.326 μH,Q值为1.6～4.2.
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《固体电子学研究与进展》（CN：32-1110/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《固体电子学研究与进展》刊登的主要内容为：无机和有机固体物理、硅微电子、射频器件和微波集成电路、微机电系统（MEMS）、纳米技术、固体光电和电光转换、有机发光器件（OLED）和有机微电子技术、高温微电子以及各种固体电子器件等方面的创新性科学技术报告和学术论文，论文和研究报告反映国家固体电子学方面的科技水平。
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