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RTD与HBT单片集成研究

作者:胡海蓉; 牛萍娟; 刘宏伟; 郭维廉; 许丹; ...共振隧穿二极管异质结双极晶体管单片集成负阻逻辑单元

摘要:设计并研制了共振隧穿二极管(RTD)与异质结双极晶体管(HBT)单片集成负阻逻辑单元.详细介绍了逻辑单元的材料结构及工艺流程的设计过程,得到了较好的负阻特性,其开启电压1 V左右,峰谷比大于2∶1.同时建立了负阻逻辑单元的模型,通过Pspice模拟结果表明与实际逻辑单元特性吻合良好.

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固体电子学研究与进展

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