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高压VDMOS器件的SPICE模型研究

作者:赵野; 孙伟锋; 易扬波; 鲍嘉明; 时龙兴spice模型高压集成电路非均匀沟道纵向双扩散金属氧化物半导体漂移区

摘要:基于高压VDMOS器件的物理机理和特殊结构,对非均匀掺杂沟道、漂移区非线性电阻及非线性寄生电容效应进行分析,用多维非线性方程组描述了器件特性与各参数之间的关系,建立了精确的高压六角型元胞VDMOS器件三维物理模型,并用数值方法求解.基于该物理模型提出的等效电路,在SPICE中准确地模拟了高压VDMOS的特性,包括准饱和特性和瞬态特性.在全电压范围内(0~100 V),直流特性与测试结果、瞬态特性(频率≤5 MHz)与MEDICI模拟结果相差均在5%以内,能够满足HVIC CAD设计的需要.

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固体电子学研究与进展

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