作者：张昭勇; 秦明; 黄庆安; 朱昊热电型微传感器优化设计建模灵敏度探测率
摘要：详细分析了一维热电薄膜型微传感器的优化设计模型,探讨了热阻、灵敏度和探测率与传感器几何尺寸之间的关系.分析的时候考虑到热电堆的热端与敏感面的距离m对传感器性能的影响.经过分析得出:当m(热电堆到热敏感面距离)为定值时,灵敏度S随梁长l增大而增大,探测率D随着l的增大先增大后减小;当l为定值时,S和D均随m增大而减小.用曲线形式所表示的分析结果为此类传感器的优化设计提供了依据.
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