作者：郭凯鑫; 何腾鹏; 孔汉东; 张荣芬钛酸铋掺杂替代机理铁电性能介电性能
摘要：采用溶胶-凝胶法和快速热处理工艺，在Pt（111）／Ti／SiO2／Si（100）衬底上制备出Bi4Ti3O12及其La^3＋、Nd^3＋掺杂系列铁电薄膜Bi3．5（La／Nd）0．5Ti3O12，并对其相组成、微观结构、铁电和介电性能进行了研究。X射线衍射谱和SEM综合显示，薄膜均匀、致密，呈随机取向的多晶钙钛矿结构。铁电和介电性能研究表明：其掺杂系列较未掺杂薄膜具有更优异的极化行为和矩形度（剩余极化强度Pr从9．35μC／cm^2增至15．53和26．24μC／cm^2）、更低的漏电流密度（从10^-4A/cm^2降至10^-6A／cm^2甚至10^-9A/cm^2）和更高的介电常数，但同时介电损耗也逐渐增加（高频段时tanδ从0．02增至0．10和0．25）。
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