作者：赵江涛; 沈金城; 刘欢; 董磊; 王晨; 杨海...陶瓷靶材掺杂量sps烧结tio2
摘要：采用放电等离子体(SPS)烧结制备了Nb掺杂TiO2（NTO）陶瓷靶材，运用X射线衍射分析、扫描电子显微镜、四探针测试仪等对NTO陶瓷靶材样品的各性能进行表征。研究了在1100℃下不同Nb掺杂量对NTO陶瓷靶材相对密度、抗弯强度、电阻率、表面形貌与微观结构等性能的影响。实验结果表明：不同Nb掺杂量对NTO陶瓷靶材的性能有显著的影响，在1100℃烧结的NTO陶瓷靶材样品，随着Nb掺杂量的升高，相对密度、抗弯强度和电阻率先增大后逐渐降低，在5wt%掺杂量处均达到了最大值，且此时结晶完好、晶粒大小分布均匀。综合而言，5wt%Nb掺杂量的NTO陶瓷靶材的各项性能表现最优，其电阻率为13.23mΩ·cm，抗弯强度为139.1MPa，相对密度达到99.9%。
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