作者：李宝迎; 何坤; 祖成奎; 陈江; 韩滨; 许晓...硫系玻璃表面粗糙度面型精度
摘要：随着军用光学仪器的飞速发展和红外光学系统的不断更新,红外硫系玻璃广泛应用于成像、制导、监控等光学系统中。以Φ30 mm×5 mm的硫系玻璃平片为例,对红外硫系玻璃的抛光工艺进行了研究。通过控制变量法对红外硫系玻璃进行梯度抛光,确定了最佳抛光工艺匹配条件,解决了红外硫系玻璃表面在抛光过程中亮丝难以消除的技术难题。采用Taylor Hobson粗糙度轮廓仪和Zygo干涉仪对抛光后的硫系玻璃光学元件的表面粗糙度和面型精度进行检测,结果表明红外硫系玻璃表面粗糙度可达Ra=0.0015 nm,面型精度可达PV=20.888 nm,抛光表面质量可满足红外成像、制导、监控等光学系统要求。
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