新疆理化所磁控溅射法制备负温度系数热敏电阻薄膜材料研究获进展

负温度系数热敏电阻磁控溅射法薄膜材料制备新疆电子信息系统温度测控测温精度

摘要：负温度系数（NTC）热敏电阻是常见的温度测控元件,具备测温精度高、灵敏度高、可靠性好、成本低、工作寿命长等特点,在航空、海洋和民用等领域广泛应用。随着电子工业和信息技术水平的不断进步,现代电子信息系统正朝向微小型化和单片集成的方向发展。相比于块体陶瓷型热敏电阻,

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