作者：吕婷婷; 刘星生; 黄国林; 王乐乐; 张德富玻璃sio2溶胶酸碱复合催化透光率
摘要：采用两种不同的酸碱复合催化方法制备Si O2增透膜,对该增透膜的透过率、表面形貌、硬度等进行了比较。第一种方法是滴加HCl制备薄膜,与酸催化法制备的薄膜相比,透光率有所提高,但薄膜表面不均匀,影响了薄膜的透光率;第二种方法是滴加酸溶胶制备薄膜,其透过率高,薄膜硬度大,且薄膜表面颗粒均匀平整。采用红外光谱,XRD和SEM等手段对两种方法制备薄膜的结构和表面形貌进行了表征,结果表明,滴加酸溶胶法得到的薄膜性质更稳定,透光率、强度等指标也最优。
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