激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究

作者：王锐; 李道火; 黄永攀; 罗丽明; 浦坦激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅光谱特性陶瓷材料si3n4双光束激发

摘要：氮化硅是优良的陶瓷材料,应用广泛.本文研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备了超微的、非晶纳米氮化硅粉体.实验证明,纳米氮化硅粉体具有一些特殊的物理性能和光谱特性.

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