作者：吴涛 王新兵 王少义 陆培祥激光等离子体极紫外辐射co2激光缓冲气体
摘要：研究了不同条件下脉冲放电C02激光烧蚀平板锡靶产生的等离子体极紫外辐射特性，设计并建立了一套掠入射极紫外平焦场光栅光谱仪，结合X射线CCD探测了光源在6．5～16．8nm波段的时间积分辐射光谱，得到了极紫外光谱随激光脉宽，入射脉冲能量及背景气压的变化规律。实验结果发现：入射激光脉冲能量在30-600mJ变化时，极紫外辐射光谱的强度随辐照激光脉冲能量的增加而增加，但并不是线性关系，具有饱和效应，且产生极紫外辐射的脉冲能量阈值约为30mJ，当激光脉冲能量为425mJ时具有最高的转换效率，此时中心波长13．5nm处2％带宽内的转换效率约为1．2％。激光脉冲半高全宽在50～120ns范围内变化时，极紫外辐射光谱的峰值位置均位于13．5nm，光谱形状几乎没有什么变化，但是脉宽从120ns变到52ns后，由于激光功率密度的提高，极紫外辐射强度也随之增强了约1．6倍。极紫外光谱的强度随背景气压的增大而迅速下降，当腔内空气气压为200Pa时，极紫外辐射光子几乎被全部吸收，而当缓冲氦气气压为7×10^4Pa时，仍能够探测到微弱的极紫外辐射信号，计算表明100Pa的空气对13．5nm极紫外光的吸收系数为3．0m^-1，而100Pa的He气的吸收系数为0．96m。
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