作者：尚勇; 董丽芳; 王志军eacvd平均温度氢原子测定蒙特卡罗方法振动激发电子激发碰撞过程金刚石薄膜ch4发射过程混合气体弹性碰撞动量传输相对强度实时监测工艺条件有效控制非弹性分解电离模拟h2表面
摘要：采用蒙特卡罗方法, 对以CH4/H2混合气体为原料气体的EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟. 在模拟中考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα, Hβ, Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程; 与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程. 研究了不同CH4浓度下基片表面上电子平均温度与氢原子谱线相对强度的关系, 给出了一种对EACVD中电子平均温度进行实时监测的方法. 对于有效控制工艺条件, 生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义.
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