作者：陈波; 尼启良; 曹健林; 李福田; 陈星旦软x射线光谱强度激光等离子体真空紫外原子长春光学精密机械与物理研究所绝对辐射定标波段光源高亮度
摘要：介绍长春光学精密机械与物理研究所进行的软X射线-真空紫外波段光谱光源研究工作. 研制成功的壁稳氩弧光源光谱辐射稳定性和重复性达±0.3%, 可作标准辐射源, 用于真空紫外波段仪器光谱强度绝对辐射定标. 研制成功的潘宁(Penning)光源、双等离子体光源和空心阴极光源, 可以覆盖从十几个nm至几十nm波段范围, 光谱辐射稳定性和重复性达±1.0%, 提供不同工作气体在该波段的原子和离子线谱, 用于光谱仪器的波长定标. 所研制的激光等离子体光源, 尤其是近期研制成功的无污染微液滴喷射靶激光等离子体光源, 可以提供较高亮度的软X射线辐射, 13.0 nm处激光-软X射线转换效率达0.75%/2π·sr/2%带宽, 适合于光刻和该波段辐射计量研究.
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