母盘针孔镀层靶材密封模具洁净盘片清理工程师
摘要：酋长：从本月20日起本公司的SQ1溅镀机出来的盘片都会有针孔出现，有人说是模具在吹气的时候有油吹到盘上，但是我怎么想也是想不通，溅镀层是和母盘贴着的，为什么母盘上面就没有?溅镀机内也是认真的清理过，洁净，靶材，内外罩，密封都没有问题，而且时多时少．请诸位工程师解释解释，谢谢。
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