作者：朱秀榕 余意 苑举君 余华军 张宪科 周斌 ...惯性约束聚变聚苯乙烯聚氯乙烯平面薄膜靶旋涂薄膜
摘要：采用旋涂工艺,以K9玻璃为衬底,制备低表面粗糙度的惯性约束聚变（ICF）分解实验用的聚苯乙烯（CH）和聚氯乙烯（PVC）平面薄膜靶,对它们的厚度、宽度和表面光洁度等靶参数进行测量.结果表明,CH和PVC平面薄膜靶的厚度分别为18μm和6μm,对应的宽度分别为200μm和300μm.CH和PVC平面薄膜靶都具有较好的表面光洁度,它们平均粗糙度Ra的最大值分别3.7 nm和4.5 nm,TIR表面最高点与最低点差值TIR的最大值分别58.4 nm和56.8 nm.
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