作者：苑举君; 张宪科; 余华军; 谢应茂tio2薄膜mocvd锐钛矿金红石光学性质
摘要：利用常压MOCVD法在Si及Al2O3衬底上制备了TiO2薄膜．研究了沉积温度和退火温度对TiO2薄膜结构和形貌的影响，以及TiO2薄膜的光学性质．研究发现，沉积温度为600℃时，制备的TiO2薄膜结构为锐钛矿相，薄膜质量较高．TiO2薄膜在1090℃高温退火后，薄膜结构完全转变为金红相．TiO2薄膜在可见区域有着高达90％以上透射率，在紫外区域有着强烈的吸收．
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