作者：高绍腾; 曹自平; 张金娅振动能量采集压电薄膜压电器件小尺度器件
摘要：采集环境振动能量为无线传感器等电子产品供电,是这些电子产品摆脱电池供电束缚而超长时间服役的重要策略。在此应用需求推动下,近年来利用压电膜制备小尺度振动能量采集器成为了科技工作者们广泛关注的研究热点。本论文首先从压电膜的种类出发,分析了含铅钙钛矿结构、AIN和ZnO以及新型无铅压电膜三大类振动能量采集器的发展现状;随后从器件的几何构造出发,归纳了低频点和宽频带两大类器件,并讨论了它们各自的发展现状。
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