功能材料与器件学报杂志部级期刊

功能材料与器件学报 2013年第05期杂志 文档列表

色散旋性材料及磁畴的能带结构与本征模式的厄米矩阵求法第222-226页

关键词: 本征模；  厄米矩阵；  旋磁材料；  能带结构；  单向传输；  本征值问题；  磁畴；  磁场方向；  本征方程；  微扰理论；  

KrF光刻胶浸酸残留缺陷的机理研究及解决方案第245-251页

关键词: 光刻胶；  krf；  湿法刻蚀；  氧化层厚度；  技术节点；  抗酸性；  等离子处理；  光照处理；  浸酸；  器件尺寸；  

用原位腔内清洗提高Al刻蚀的MTBC第252-254页

关键词: al；  mtbc；  清洗工艺；  均匀性；  聚合物薄膜；  产额；  碳基；  半导体器件；  淀积；  逻辑器件；  

低Te等离子体应用于finFET FEOL刻蚀的挑战第255-258页

关键词: te；  finfet；  feol；  等离子体应用；  离子源；  负载效应；  淀积；  半导体工业；  低温等离子体；  缝隙天线；  电子温度；  

短波红外InGaAs探测器介绍与简析第259-263页

关键词: 短波红外；  ingaas；  探测器阵列；  焦平面探测器；  光伏探测器；  暗电流；  平面型；  读出电路；  探测率；  焦平面阵列；  

大唐微电子的“芯”机遇与“芯”挑战第265-265页

关键词: 移动支付；  交易规模；  产品中心；  支付模式；  新旧更替；  华清；  支付平台；  中芯国际；  互联互通；  联网通用；  

为移动支付安全性把好关第266-266页

关键词: 移动支付；  通信技术；  应用模式；  电子钱包；  信息安全；  金融卡；  电子标签；  服务提供方；  网络互联；  加解密算法；